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美國SVT 脈沖激光沉積設備/PLD產(chǎn)品簡介： ●SVTSMART（Scientific Materials and Applied Research Tool）脈沖激光沉積系統(tǒng)具有*性。它可以把激光燒蝕技術和我們所擁有的其他沉積技術（如RF源）集成于一臺設備上?？梢陨L各種可能的材料。 ●配有6個旋轉(zhuǎn)靶臺，實現(xiàn)多層薄膜結構生長。 ●可與準分子激光和Yag激光相連。